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电离规真空计的设计与研究.pdf
学校代码：幽分类号：ＴＰ３９１ 研究生学号：１０２００２００８２１３１８ 密级：玉 东北ＪＩｆ范大季 硕士学位论文 Ｔｈｅ Ｄｅｓｉｇｎ ＩｏｎｉｚａｔｉｏｎＶａｃｕｕｍ Ｇａｕｇｅ 指导教师： 学科
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热偶规真空计的设计和的研究.pdf
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热阴极 电离真空计 的电路设计.doc
真空技术的应用涉及到各个领域 大到航天设备 小到普通的灯泡。真空度的测量无疑是真空技术的关键 作为真空度测量设备的真空计类型很多 其灵敏度、量程和用途各不相同 常用的有热偶真空计、皮拉尼 电阻 真空计、潘宁真空计和热阴极电离真空计等 前三者都是用于低真空测量的。本文将详细介绍用于高真空测量的热阴极电离真空计的工作原理。当气体导电时 气体分子与高速飞行的电子发生碰撞而电离 碰撞的频率与气体分子的密度有关。密度大 碰撞的频率就高 产生的离子也越多 而气体分子的密度又与气体的压强有着直接关系 因此 如果能测定气体中被
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