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MEMS伯克利大学讲稿
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MEMS封装知识介绍
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基于MEMS技术波长可调谐VCSEL模式模型建立及器件制备.pdf
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传感器原理与应用课件 第15章 MEMS传感器.ppt
第15章MEMS传感器15.1 述15.2MEMS传感器分类15.3 MEMS加速度计15.3.1 压阻式MEMS加速度计15.3.2 电容式MEMS加速度计15.3.3 静电力平衡式MEMS加速度计
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微机电系统(MEMS)定义、应用及发展.ppt
微机电系统（MEMS）——定义、应用及发展1一、微机电系统的定义、构成和特点二、微机电系统的工程应用三、微机电系统的发展21.微机电系统的术语及定义2.微机电系统的构成3.微机电系统的特点3微机电系统
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纳米技术与MEMS.ppt
NanotechnologyLecture1Prof. Dr. Xiaoxuan LiuGuangdong University Nanotechnology•Nanotechnology invol
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基于倒装技术的MEMS电容式压力传感器研究.pdf
基于倒装技术的MEMS电容式压力传感器研究基于倒装技术的MEMS电容式压力传感器研究基于倒装技术的MEMS电容式压力传感器研究
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2010-2015年中国微机电系统(MEMS)市场动态与投资前景分析报告.pdf
2010-2015年中国微机电系统（MEMS）市场动态与投资前景分析报告2010-2015年中国微机电系统（MEMS）市场动态与投资前景分析报告2010-2015年中国微机电系统（MEMS）市场动态与投资前景分析报告
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环境影响评价报告,简介:无锡必创传感科技有限公司MEMS压力传感芯片及模组产业化项目环评公众参与2391环评报告.pdf
MEMS压力传感芯片及模组产业化项目 建设单位（盖章） 无锡必创传感科技有限公司 编制日期: 2015 年10 一、建设项目基本情况：项目名称 MEMS 压力传感芯片及模组产业化项目 建设单位 无锡必
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基于MEMS的汽车发动机用机油压力传感器研究.pdf
传感器是先进制造技术领域的基础元器件之一。MEMS(MicroElectro-mechanical System)传感器具有小尺寸，低成本、高可靠的特点，被广泛应用于汽车电子领域，包括发动机控制系统、空气悬挂系统、车体平衡系统、刹车控制系统、汽车空调等，目前每台中高档车中平均应用了25～40只MEMS传感器。
　　 随着我国商用车发动机欧三排放标准的实施，发动机机油压力传感器的需求量越来越大，但由于其技术难度大、投资大、市场竞争激烈和风险较大等各种因素，目前主要依赖进口，国内很少有机构涉足此领域。
　　 本文通过理论计算、仿真分析以及实验等方法，深入研究的基于MEMS的汽车发动机用机油压力传感器的设计、封装、制造及批量标定。
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MEMS器件综合技术的研究.pdf
：７ＳＵ７２７东南大学硕士学位论文ＭＥＭＳ器件综合技术的研究教育部科学技术研究重大项目（重大０２１６）国家“八六三”计划ＭＥＭＳ专项“ＭＥＭＳ设计方法”（２００２ＡＡ４０４０１０）“ＭＥＭＳ设计与封装
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MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究.pdf
中国科学院电子学研究所硕士学位论文基于MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究姓名：裴强申请学位级别：硕士专业：物理电子学指导教师：夏善红20030701摘要基于ＭＥＭＳ技术的微型电场传感器设计及实
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