放射性电离规灵敏度衰减特性分析
本文档由 mingjingfeitai9 分享于2010-09-20 09:11
减小真空室出气率.保证在关闭抽气阀30min后,真空室可以维 持压力小于lX 10Pa,减小真空窒的出气对低压力端测量带来的偏差.进气阀采用超高真空微调阀(以下称...
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